內熱式真空熱處理爐與外熱式真空熱處理爐相比，結構和控制系統(tǒng)比較復雜，制造和安裝精度比較高，調試難度大，造價較貴。但是內熱式真空熱處理爐慣性小，熱效率較高，可以實現(xiàn)快速加熱和快速冷卻，使用溫度高，目前已有2200～2500℃的內熱式真空爐研制成功并用于生產，同時內熱式真空爐可以大型化，便于連續(xù)作業(yè)，自動化程度高，生產效率高。近十幾年來，內熱式真空爐迅速發(fā)展，已經成為當前真空熱處理爐的主流爐型。 kaixin100.cn
內熱式真空爐的優(yōu)點主要有以下七點：
1.可以制造大型高溫爐，而不受爐罐限制；
2.加熱和冷卻速度快，生產效率高；
3.因不采用耐熱爐罐，溫度范圍廣，最高加熱溫度可達到2200℃或更高；
4.易于實現(xiàn)全過程的自動化，工作中無污染，環(huán)境好，操作安全；
5.爐子熱慣性小，加熱和冷卻工序循環(huán)短，熱效率高，生產效率也高；
6.爐溫均勻性好，可達±5℃，工件加熱均勻，變形微小，產品質量好；
7.加熱期間不需要保護氣氛，除非為防止金屬揮發(fā)或在低溫區(qū)提高加熱速度和爐溫均勻性通入的氣體外，一般充入氣體多采用N₂，Ar或Ne氣等。
內熱式真空爐的缺點有以下三點：
1.爐內結構復雜，爐子造價高，電氣絕緣性要求高；
2.與外熱式真空爐相比，爐內容積大，各種構件表面吸附大量氣體，需配大功率抽氣系統(tǒng)；
3.考慮真空放電和電氣絕緣性，要低電壓大電流供電，需配套系統(tǒng)。
